- химическое осаждение атомарных слоев из паров
- atomic layer chemical vapor deposition
- ALCVD
химическое осаждение атомарных слоев из паров
То же, что осаждение атомарных слоев
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- ALCVD
- atomic layer chemical vapor deposition
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии. academic.ru. 2015.
